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洁净厂房的建设成本怎么计算?洁净厂房建设成本计算方式大全
由于洁净室树立费用很高且不同洁净等级的树立费用相差较大,因而,在洁净室设计过程中,设计师不只需要合理安置工艺设备以尽量削减洁净区的面积,而且也要针对不同的消费环节设置不同的洁净等级。目前,12英寸集成电路芯片制作工厂普遍选用"开放式洁净室加微环境"的方法,将芯片制作过程中对空气洁净度恳求十分严厉的硅片加工过程安置在1级-4级的微环境装置内,而开放式洁净室的洁净度等级只需5级-6...